1700C CVD 3ゾーン真空管炉 MFCガスミキサーと分子ポンプユニット

製品概要

PT D80/1500/17/3は高温,三ゾーンCVD高真空管炉である. OD80mmアルミニウム管,加熱長1500mm. 10-5torrまでの真空レベルを持つ分子ポンプを装備.3チャネルMFC精密制御ガス混合. 304SS 水冷却フレンズ 針閥とゲージ,様々なガスのための複数の空気入り口と出口温度制御精度は+/-°Cで,マイクロプロセッサベースの自動調整Yudian PID温度制御システムを採用, MoSi2棒は加熱され,最大温度は1700°C (1500°C高真空下で) に達することができます. 3ゾーン高真空管炉は主に真空および大気保護シンタリングに使用されます.真空薄膜コーティング血管新生疾患の実験などです

主要な特徴

• Tmax 1700°C
• 3 熱帯 高真空,CVDチューブオーブン
• 二重鋼構造,最小熱損失
• 分子ポンプユニット,最大真空レベル 10-5 トルまで
• 3チャネルMFC制御ガスミキサー
• 最大温度の安定性と均一性を確保するためのMoSi2加熱要素を搭載した繊維隔離室
• 304SS 水冷却密閉フラングス
• デジタルPIDコントローラ+/-1°Cの精度でプログラム可能な30セグメント
• B型熱対
• ISO,CE

安全対策

• 組み込みアンプメーターとダブルボルトメーターで 監視とトラブルシューティングが簡単です
• 温度が許容範囲を超えた場合 (コントローラーの説明書参照) または熱電池が壊れた場合または機能不全の場合,過熱保護は炉をシャットダウンします.
• 電源の故障防止は,電源が再開されたときの故障点直後に炉の動作を再開する.
• マイクロプロセッサベースの自動調節PID制御は,最小限のオーバーショットで最適な熱プロセスを提供します

製品詳細

1700°C CVD 3 ゾーン 真空管炉 MFC ガスミキサーと水冷却装置

• PT D80/1500/17は主に7つの部分から構成されています:炉体,炉管,フレンズ密封用アクセサリー,ガス供給システム,水冷却システム真空ポンプシステムと温度制御システム
• オーブンの外側の鋼殻は,オーブンの表面にコンクリートとリン酸,環境粉末のコーティング,腐食と酸化耐性,内蔵冷却扇,表面温度 Rt+45°C
• 華麗な外観,ISO,CE準拠性

1700°C CVD 3ゾンの高真空管炉のための室内プロファイル

• 高アルミニウムセラミック絶縁,CNC彫り,密集室壁,U型MoSi2ヒーター,高温耐性1800C
• 高アルミニウム加工チューブ,高温耐性1700°Cまで炉管内の加熱ゾーンの重要な部分は,セラミックチューブプラグを装備されています熱が逃れることを効果的に防止し,熱損失を減らすことができます
• B型熱対

水冷却フレンズ, 1/4 インチパゴダガスノズル,分子真空ポンプユニット

• SS304水冷却フレンズセットを装備し,高温耐性フッ素ゴムシールリングで密閉
• 空気入口と出口は,G1/4インチパゴダ空気ノズルを採用し,外径8mmのPTFEパイプに接続できます
• 接続分子ポンプユニットとKF25,真空レベルを確実に10 * 5mbarに達

1700°CのCVD高テンプ3ゾーンのチューブオーブンの暖房プログラム

• プログラム可能な30のセグメント,熱速1~10°C/分 自由に調整できる
• 温室温室熱隔熱 温室温室温室温室
• 7インチタッチスクリーンパネルはオプションで,暖房プログラムは,タイムリーに表示され,ダウンロードすることができます

T技術仕様

申請に関する注釈

• 処理管の圧力は0.02MPaより低くなければならない
• ガス源は,圧縮バルブを装備する必要があります
• H2のような削減ガスを満たす前に,チューブから空気をポンプする必要があります
• 管のガス入口からガスを満たすとき,ガスの出口バルブが開いていることを確認する必要があります

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