固体前駆物サブリマータを搭載した1100Cクォーツチューブオーブン

酸化拡散熱アニール管炉の製品概要

PTC D110/440/12NGはコンパクトな1100°CのCVDチューブオーブで,前駆物サブライマータ付属装置を搭載している.完全に4チャネルガス入口は,さらに分解と堆積のためにメインヒーターにソース蒸気を運ぶために様々なガスの供給を可能にする上層化に構築されています.右側フレンズに固定されたサンプルホルダーフィクチャーは,サンプルを簡単にロード/オフロードするためにスライド可能です..

主要な特徴

• コンパクトのCVDオーブンのシステム:
• 4.33" O.D x 4.05" I.D x 29.13" 長さクォーツチューブ (OD 110 x ID 103 x L 740,mm)
• 1100°C 最大作業温度 +/- 1°Cの精度
• 右側の水冷却フレンズは,簡単なサンプルロードのために滑りやすい
• 暖房と炉間の左側にある水冷却フレンジは,予熱ガス入力と密封に使用されます.
• 4チャネルガスの入口 (1/8 "Diaチューブとチューブフィッティング) は左側フレンズに組み込まれています
• 1つの小さなヒーターが炉の左側フレンズに固定され,入力ガス,液体,または固体化学物質を蒸発させ,CVD炉に供給されます.
• 詳細については左の画像をクリックしてください.
• 1.2'O.D x 6'L SSチューブとして暖房室
• 真空密封 1" ID 小型クォーツチューブ 暖房内 (写真2)
• 400°C 最大作業温度 (1000°Cのヒーターは要求に応じて提供されます)
• 左側のフレンジは,ガス密封と入力のための

1200 シリーズ 実験 炉 の ランピング,住居,冷却 曲線

安全対策

• 組み込みアンプメーターとダブルボルトメーターで 監視とトラブルシューティングが簡単です
• 温度が許容範囲外にある場合 (コントローラーのマニュアルを参照してください) または熱電池が壊れた場合または不具合の場合,過熱保護は管炉をシャットダウンします.
• 電源が再開されたとき,障害点からすぐに炉の動作を再開する電源障害保護
• マイクロプロセッサベースの自動調節PID制御は,最小限のオーバーショットで最適な熱プロセスを提供します

製品ギャラリー

CVDチューブオーブンの前駆物サブライマータ装置

テクニカル仕様

申請に関する注釈

• 必要な安全管理と監督なしに,水素やメタンなどの爆発性ガスを炉管に詰め込まないこと.
• クォーツ管の実験管炉は,真空および低圧 < 0.2bar / 3psi / 0.02MPa下で使用するように設計されています.
• 耐火性セラミクスの表面には,長時間使用すると小さな裂け目が現れることがあります.これは正常な現象であり,アルミナコーティングで裂け目を修復することができます.

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