1700C 高温3ゾーン 実験室CVD真空管炉 OD60mm アルミナ管

製品概要

PTC D60/600/17/3は,CE認証の60mm OD 3ゾーン管炉で,完全な真空密封フレンズがあります.独立して3つの精密度30セグメントのデジタル温度コントローラによって制御されます.. 1つのゾーン (中央ゾーン) は,スーパー-1800 MoSi2元素で 1700°Cまで加熱され,2つのゾーンは,SiC元素で 1400°Cまで加熱されます.3つのゾーン温度調整によって様々な熱グラデントを作成することができます熱グラディエント下で機能的材料を準備するのに優れた炉であり,CVDによる上軸膜の成長にも使用できます.

主要な特徴

• 作業温度範囲 1200°C~1700°C
• 二重鋼構造,最小熱損失; 3つの加熱ゾーン,独立して制御
• 99.6% アルミナチューブ,SS304 急速開口水冷却シールフレンズ
• 強力なMoSi2熱装置で均等な温度を保ちます
• 最大温度の安定性と均一性を確保するための繊維隔離室
• プログラム可能な30セグメントのデジタルPIDコントローラ
• Ar,N2 CO,H2などとガスを混ぜることができる個々のガス供給装置セット
• 長寿命B型熱対
• CE認証

安全対策

• 組み込みアンプメーターとダブルボルトメーターで 監視とトラブルシューティングが簡単です
• 温度が許容範囲を超えた場合 (コントローラーの説明書参照) または熱電池が壊れた場合または機能不全の場合,過熱保護は炉をシャットダウンします.
• 電源の故障防止は,電源が再開されたときの故障点直後に炉の動作を再開する.
• マイクロプロセッサベースの自動調節PID制御は,最小限のオーバーショットで最適な熱プロセスを提供します

製品詳細

1700°C 3ゾーンの高温CVD真空管炉

• 1700C高温CVDチューブオーブンは主に5つの部分で構成されています:オーブンの体,オーブンのチューブ,フレンズ密封用アクセサリー,ガス供給システム,掃除システムと温度制御システム
• オーブンの外側の鋼殻は,オーブンの表面にコンクリートとリン酸,環境粉末のコーティング,腐食と酸化耐性,内蔵冷却扇,表面温度 Rt+45°C
• ISO,CEの準拠性

1700°C CVD 高温 3 ゾーン 管 炉 の 部屋 プロフィール

• 高アルミニウムセラミック絶縁,CNC彫り,密集室壁,U型MoSi2ヒーター,高温耐性1800C
• 高アルミニウム加工チューブ,高温耐性1700°Cまで炉管内の加熱ゾーンの重要な部分は,セラミックチューブプラグを装備されています熱が逃れることを効果的に防止し,熱損失を減らすことができます.
• B型熱対

迅速な開口フレンズ,炉管のサポート, 1/4 "パゴダガスノズル,真空ポンプユニット

• SS304 式 迅速 開ける 水冷却 フレンズ アクセサリー 材料 の 急速 な 積載 と 卸載 に 用い られ,高温 耐性 フッ素 ゴム の 密封 リング で 密封 さ れ て い ます
• 空気入口と出口は,G1/4インチのパゴダ空気ノズルを採用し,外径8mmのPTFEパイプに接続できます.最大真空は10*-7torrに達することができます.
• 接続分子ポンプユニットとKF25,真空レベルを確実に10 * 5mbarに達

1700°CのCVD高テンプ3ゾーンのチューブオーブンの暖房プログラム

• プログラム可能な30のセグメント,熱速1~10°C/分 自由に調整できる
• 温室温室熱隔熱 温室温室温室温室
• 7インチタッチスクリーンパネルはオプションで,暖房プログラムは,タイムリーに表示され,ダウンロードすることができます

T技術仕様

申請に関する注釈

• 処理管の圧力は0.02MPaより低くなければならない
• ガス源は,圧縮バルブを装備する必要があります
• H2のような削減ガスを満たす前に,チューブから空気をポンプする必要があります
• 管のガス入口からガスを満たすとき,ガスの出口バルブが開いていることを確認する必要があります

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