1200C 多ゾーンCVDチューブオーブン OD120mm 3ゾーン 温度均一性 +/- 5C

温度均一性 +/- 5 の 1200C 多ゾーン CVD 管炉 (OD120mm, 3 ゾーン)

1700C の製品概要ローター管炉

複数のゾーンCVDチューブオーブンの作業ステーションは,複数の熱帯チューブオーブン,精密な質量流量ガス制御ステーション,高真空ポンプユニットおよび炉管などの他の組み立て部品Tmax 1200°C,分子真空ポンプユニットで究極の真空速度は10^-7 torrになります.質量流量ガス制御ステーションは3種類以上のガスを混合し,混ぜたガスを炉内のクォーツ管または金属管に入力します多ゾーンチューブオーブンは,CVD,拡散,および真空状態および大気保護の下での他の熱処理として実験に適しています.

主要な特徴

• Tmax 1200°C
• 水平型,分割型,多ゾーン型,CVD管炉
• インコネル600加工チューブとして
• 最大真空レベル 10E-7 トール
• 3チャネル精密量流量ガス制御
• 複数の暖房区域が分離して制御され,温度グラデーションが向上します.
• 二重フレンズサポートは,より良い密封と長い管の寿命を提供します
• N型熱対
• CE認証,標準

安全対策

• 組み込みアンプメーターとダブルボルトメーターで 監視とトラブルシューティングが簡単です
• 過熱防止装置は,温度が許容範囲を超えた場合 (コントローラーの説明書参照) または熱対が壊れた場合や機能不全の場合,CVD管炉をシャットダウンします.
• 電源の故障防止は,電源が再開されたときの故障点直後に炉の動作を再開する.
• マイクロプロセッサベースの自動調節PID制御は,最小限のオーバーショットで最適な熱プロセスを提供します

製品ギャラリー

1200C回転チューブオーブンのフロントビュー

テクニカル仕様

申請に関する注釈

• 必要な安全制御と監督なしに,CVD炉管に水素やメタンなどの爆発性ガスを詰め込んではいけません.
• 金属管の管炉は,真空および低圧<0.2bar / 3psi / 0.02MPaで使用するように設計されています.
• 耐火性セラミクスの表面には,長時間使用すると小さな裂け目が現れることがあります.これは正常な現象であり,アルミナコーティングで裂け目を修復することができます.

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